Kuinka paljon tiedät piinitridistä piinitridi-substraateissa?

Tänään esittelensilicon nitridisuorituskyvyn näkökulmasta.

Tietoja fyysisistä ominaisuuksista

Ensinnäkin piinitridin lämpöominaisuudet. Se on korkean lämpötilan tulenkestävä materiaali, jolla ei ole sulamispistettä. Se hajoaa noin 1900 ℃:ssa normaalipaineessa. Sillä on vahva vastustuskyky korkean paineen virumista vastaan. Reaktiivisen sintratun piinitridin kuorman pehmenemispiste ilman sideainetta voi olla jopa 1800 ℃. Sitten sillä on hyvä lämmönjohtavuus ja pieni lämpölaajenemiskerroin. Siinä on myös hyvä sähköeristys, pieni dielektrisyysvakio ja korkea läpilyöntijännite.

Tietoja kemiallisista ominaisuuksista

Piinitridisillä on hyvä hapettumisenkestävyys, eikä se reagoi hapen kanssa kuivassa ilmakehässä alle 800 ℃. Lisäksi se kestää sulan metallin korroosiota, ei kastele alkuainemetallisulaa (paitsi kuparia) eikä syöpy. Toinen ominaisuus on, että se liukenee helposti fluorivetyhappoon eikä toimi laimean hapon kanssa.

Tietoja mekaanisista ominaisuuksista

Piinitridion hyvä lujuus korkeissa lämpötiloissa. Korkean lämpötilan lujuus 1200 °C:ssa ei heikennä paljon verrattuna huoneenlämpötilan lujuuteen. Lisäksi sen virumisnopeus korkeassa lämpötilassa on erittäin alhainen. Nämä kaikki määräytyvät vahvojen kovalenttisten sidosten luonteen mukaan. Sillä on korkea kovuus, toiseksi vain muutamat erittäin kovat materiaalit, kuten timantti, kuutio BN, B4C jne. Sillä on myös alhainen kitkakerroin ja itsevoitelevat ominaisuudet, jotka vastaavat öljytyn metallin pintaa.

Yllä oleva on tämän päivän johdatuspiinitridifysikaalisten ominaisuuksien, kemiallisten ominaisuuksien ja mekaanisten ominaisuuksien kolmesta näkökulmasta.